Das Buch "Teubner Studienskripten, Bd.54, Halbleitertechnologie" von Wolfgang Harth ist ein umfassendes Lehrwerk, das sich mit den Grundlagen und Anwendungen der Halbleitertechnologie beschäftigt. Es richtet sich vor allem an Studierende der Ingenieurwissenschaften und bietet eine detaillierte Einführung in die physikalischen Eigenschaften von Halbleitermaterialien sowie deren Herstellung und Verarbeitung. Wichtige Themen wie Dotierung, Lithographie, Ätzverfahren und die Integration in elektronische Bauelemente werden ausführlich behandelt. Das Skriptum kombiniert theoretische Konzepte mit praktischen Beispielen und Übungen, um ein tiefes Verständnis für die technologische Umsetzung in der Halbleiterindustrie zu vermitteln.
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